一、設(shè)備定義與核心功能

預(yù)抽真空管式爐是一種在真空或惰性氣體保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行高溫處理的專用設(shè)備，其核心功能包括：

真空環(huán)境模擬：通過(guò)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵或分子泵將爐內(nèi)氣壓降至10?3 Pa至10?? Pa，排除氧氣等活性氣體，防止材料氧化、脫碳或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

氣氛控制：支持惰性氣體（如氬氣、氮?dú)猓┗蜻€原性氣體（如氫氣）的通入，實(shí)現(xiàn)特定工藝需求（如CVD沉積、還原反應(yīng)）。

高溫處理：工作溫度范圍覆蓋100℃至1800℃，適用于金屬熱處理、陶瓷燒結(jié)、半導(dǎo)體材料制備等場(chǎng)景。

二、技術(shù)原理與結(jié)構(gòu)組成

熱傳遞機(jī)制：

依賴熱輻射傳遞熱量，加熱元件（如硅鉬棒、電阻絲）通電后產(chǎn)生紅外輻射，直接作用于爐管內(nèi)物料。

真空環(huán)境減少氣體分子對(duì)熱傳遞的干擾，提升加熱效率并確保溫場(chǎng)均勻性。

關(guān)鍵部件：

爐體：雙層殼體結(jié)構(gòu)，內(nèi)層采用高溫合金或陶瓷纖維材料，外層隔熱，表面溫度低，操作安全。

加熱元件：硅鉬棒（高溫場(chǎng)景）或電阻絲（中低溫場(chǎng)景），壽命長(zhǎng)且熱穩(wěn)定性高。

真空系統(tǒng)：由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、真空計(jì)組成，實(shí)現(xiàn)快速抽真空與氣壓精準(zhǔn)控制。

控制系統(tǒng)：PID溫控系統(tǒng)支持多段程序控溫（如40段），溫度精度達(dá)±1℃，配備超溫保護(hù)、斷電聯(lián)鎖等安全機(jī)制。

爐管：模塊化設(shè)計(jì)，兼容石英管、剛玉管等耐高溫材料，規(guī)格覆蓋Φ40-100mm，便于快速更換。